China's First 28nm Lithography Tool to Be Delivered This Year
https://www.tomshardware.com/news/chinas-first-28nm-capable-scanner-to-be-delivered-by-end-of-2023

中国製の28nm対応露光装置か。
プレーナーの最終世代までは来たことになる。
まともな数量用意出来るのかとかこれ使った歩留まりどうなのかとかお手並み拝見。