> 記録面は0.1mmの紫外線透過可能な石英ガラス薄膜でOK
ウィキペにはこうあるけどね。
「EUVは波長13.5 nmという軟X線に近い領域のため、すべての物質において、EUVを吸収する。」

石英は160nmあたりでもう無理っぽい。