>>911
補足説明ありがとうございます。
>>910で半導体露光装置と書いたのは、FPD（フラットパネル ディスプレイ）露光装置の間違いですね。
半導体露光装置の方は、ASMLにコテパンにやられて新規技術開発もストップしたので、ほぼ撤退状態ですね。