あんまこだわって使いわけるものではないと思うし昔から使ってる用語をそのまま使ってたけど、
ここはMZのスレなのでMZのヘルプを見たら用語が変わってるんだね

タイル　マップの見た目となる画像に、キャラクターが通行できるかなどの設定を付与したもの
タイルセット　マップを構成するタイル（いわゆるマップチップ）を収めた画像
セル・マスとかいう単語はヘルプになくて、「マップイベントの作成と操作」のところだと「場所」って書かれてる