>>86

屈折光学系が小型潜水艦並みで建造費用が100億/台とか恐ろしい話になってますからねぇ。
そのくせ1時間あたり120枚程度しか処理できないらしい。この間まで光源が100W超えてるかどうか
という話だったので、200W超えたのは喜ぶべきだが少なくともタクトタイムが半分にならないと
量産ラインにはぶち込めない。

5nmはレジストの分散欠陥率が高すぎてスキャナの問題以前らしい。