>>501
それこそ税金で維持すればよくね？
LSI300台分程度のメガファブでも、1ラインあたりの初期費用はせいぜい5000億円程度で済む
民間企業では出費に耐えられないが、国の予算として見れば実際安い

>>489
ミニマルファブはイオン加速装置の小型化がネックだからなあ
あとは成膜用CVDだがこれは国交省から予算が出てるか