見えてきた7nm以降の量産用EUV露光技術
https://pc.watch.impress.co.jp/docs/column/semicon/1164527.html
一応EUVの出力にも目途が立ちこっちは大丈夫となったようだ
ただ配線問題がいまだに解決するめどがつかない
銅配線のコバルトライナーは持っても5nmまでで3nmは無理だろうと思う
5nmでも結晶のレーザー成長などあらゆる手を尽くすことになるだろうから悩ましい