https://project.nikkeibp.co.jp/atclmono/event/011700005/?P=2
あとミニマルファブ調べていたら250nm位でもMEMSとかで独自の立ち位置築けるポテンシャル持ってそうなんだよなあ。

まあ台湾が丸ごとミニマルファブ持って行ってメガファブと連携して圧倒するという未来もきそうだけど。