少量生産システム（ミニマルファブ）で集積回路の試作に成功
ttp://www.jaxa.jp/press/2019/05/20190510a_j.html

・国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構（以下「JAXA」という）は少量生産システム（ミニマルファブ）（注1、図1）
　による宇宙用集積回路製造の実現を目指している。このた　び、1000トランジスタ規模の集積回路（4ビットシフトレジスタ
　およびI/O回路）を設計し、国立研究開発法人産業技術総合研究所（以下「産総研」という）が開発した実用SOI-CMOS
　2層アルミ配線プロセス技術Technology 2018（注2、図2）を用いて試作（図3）、その動作実証に成功した（図4）。
・産総研は、フルオートで製造装置群を操作することで、回路設計者が自らデバイスを製造できるシステムをミニマルファブで開発し、
　JAXAの回路設計者が自らミニマルファブを操作して上記集積回路の実証に成功した。
・集積回路試作と動作実証により、宇宙機に搭載するデバイスをミニマルファブで製造する道が拓けた。
　今後、宇宙応用をさらに拡大することが期待される。


遂にミニマルファブでLSI規模の集積回路の政策に成功したか。
現在開発中のBE露光装置が完成すれば差し当たり線幅250nｍが行けるので、ちょっとした回路ならほぼワンチップ化できるな。