>>https://mevius.5ch.net/test/read.cgi/army/1569498165/719
>>https://mevius.5ch.net/test/read.cgi/army/1569498165/809

半導体のドライエッチングっていうのは、
プラズマ化したエッチャントガスを対象にぶち当てて、
物理的にガリガリ削るのと、化学的な反応で溶かして削るの、
双方を利用したものなんよね。
当然のことながら廃ガスには、エッチング対象やマスクが削れたもの、
反応で生み出された重合物が混ざることになる。
そんなことを確かめたことなんて無いけど、
廃ガスの純度が〇〇ナインとか呼べるような、純度なわきゃねえだろと思うよ。

ただ、ドライエッチャーというのずっとプラズマを炊いてるわけじゃなくて、
ガスのマスフローを安定させるために、エッチング前にガスを空流ししたり、
ガスラインやチャンバーの状態を保つために使わないときもラインにガスを詰めといたりするので、
そういうのを再利用するのはアリかも知れんねえ。
まあ鮭が一度チャンバーに導入したガスをもっかい使えなんて言われたら、
正気を疑うけどなあ。