>>636
単純にフッ化水素内にリンとかが溶け込んでいて洗浄時に基盤をリンで汚染し、
そのままリンがラインの機材にくっついたというケースかもなあ。

リンでラインが汚染されると冗談抜きで機材ごと洗浄しないと半導体なんて作れない状態に陥るし。