実はTSMCでEUV使用してまともにマスプロダクション宣言されてるのはTSMC N5(5nm)だけ
Samsungの方は7LPP,6LPP,5LPE(全部7nmなので親戚だけど)がある
あまり需要もないし貴重なEUV光源はN5に回した方が良いと判断されても不思議じゃないかな