https://jp.reuters.com/article/meti-semiconductor-idJPKBN2BG0CN
［東京　２４日　ロイター］ - 経済産業省は、先端半導体製造技術の開発企業として、
東京エレクトロン、キヤノン、ＳＣＲＥＥＮセミコンダクターソリューションズ（京都市）、
産業技術総合研究所を選んだと２３日に発表した。
台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）など海外のファウンドリ（半導体受託製造）も含めて協力していく。
今回の事業では、ポスト５Ｇで必要となる先端的な半導体を将来的に国内で製造できる
技術を確保するために、先端半導体の製造技術の開発に取り組む。
具体的には、２ｎｍ（ナノメートル、ナノは１０億分の１）以降の次世代半導体の
製造技術を開発するとともに、国内にない先端性を持つロジック半導体の製造技術を確立する。
研究開発期間は５年。
産総研は茨木県つくば市にある事業所に試験ラインを設置し、半導体デバイス（半導体チップ）を
生産する海外ファウンドリを含めて「先端半導体製造技術コンソーシアム」を構築する。
半導体受託生産大手の台湾ＴＳＭＣはつくば市に研究開発を目的とした子会社の設立を決めている。

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産総研はつくば西事業所（気象研の向い、国立環境研のとなり）に
SCR（スーパークリーンルーム）を持っていて40nmの施設がある。
これ以外に駐車場潰して2nmの実験的なファブを作る計画かな