>>105
従来光源＋液浸露光で作れる限界が7nmプロセスと言われてるから、恐らく液浸で作ってるんだろうなと。
んで液浸で7nmを作る場合は照射を複数回しないと駄目だから、
生産工数が増えてどうしても数が出ないのが効いてそう（＋歩留まり問題もあるし）

EUV露光装置を開発できないとこれ以上の量産性UPも微細化も簡単には出来ないかと。