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乙。

先日話題の電力効率１０倍国産EUV露光装置の続報が来てた。
加速器を用いた「省電力次世代EUV露光技術」開発へ
ttps://eetimes.itmedia.co.jp/ee/articles/2507/02/news026.html
＞既存のEUV光源に比べ消費電力を10分の1に低減でき、「beyond EUV」と呼ばれる短波長化も比較的容易だという。
KEKはこれらの研究成果を踏まえ、2029年度までにプロトタイプ機の建設を始める予定。
さらに10～13年後には実用機を開発し事業化を目指す。

EUVの次まで見据えるみたいだし、遂にX線露光がくるのかねえ。
悪夢３年で失ったものを取り返すのもこれでやっと完遂になるかな。