試作ラインなんてない
装置開発としてプルセスの一部をやっているメーカーはあっても、デバイスを作れるようなラインはない
そのプロセス開発のコストが増大して脱落したのに、量産はしないけど試作だけやりますなんて所はない
だいたいEUV露光装置自体日本に存在しないんじゃないか?(ニコンの試作機は別にして)