>>192
実測はともかく公称値の12nm近辺からEUV露光になるんや
その前が液浸という液体を使った方法だったんだここまではニコンとかが技術が高かった
しかしEUVになってから完全に置いていかれもはやその技術ではまったく歯が立たない（素材は別