ZFS（と関係ないかもしれないけど）について不思議な現象が起きています。
tank というZPOOLに大量のデータ（数百万個，トータル数TB）が入っているとして意図しないデータの改竄や
破壊がないかバッチで以下のような処理をしてチェックしてます。
find /tank -type f | xargs md5 > log.txt

前回実行時とMD5が変わっているファイルがいくつか見つかり，確認のためコマンドラインでそのファイルを
md5 XXXXX.dat
とやるとMD5は前回と同じでした。再度バッチを実行してみたところ実行の度に結果が変わります。感覚としては
実行の度にMD5変更として誤検知されるファイルの数が増えます。しかし直接手動でmd5コマンドを打つとどの
ファイルもMD5変更無し。つまりxargs経由でmd5を実行すると百万個に数個の頻度でMD5が正しく得られません。
（OSのシステムエラーが出ないところが悩ましい）

このZPOOLは長らくFreeNAS-11で使っていました。最近Linuxにエクスポートしたところこの現象が発現したため
再度FreeBSDに戻しました。この時一度OpenZFSに読ませたため現在FreeBSD-13-RC3で使っています。Linuxほど
ではないですがFreeBSD-13でも時々発生しています。FreeNAS-11では一度も問題は起きていませんでした。
何かチェックすべきところはありますか？個人的にはOpenZFSが怪しい気がします。