>>787
実はミニマルファブ１ラインあたりの目標生産能力は自動車の製造ラインに合わせていたりする。
もっとも現状だとまだまだその域までは達していないけど。
成膜や不純物導入系の工程はどうしても処理に時間がかかるしな。

微細化はEV露光装置次第だけど、こいつがえらくてこずっていて、開発開始からそろそろ10年近く経つかな。