>>35
液体の中で微細回路を露光するのは、素晴らしいアイデア。
特許料は取れるところから取っておかないとダメ。

露光装置にお世話になってる半導体メーカーとしては、ASML独占は避けたい。だからASMLがNikonに出資するのはNG。

ASMLがNikonに出資する代わりに、ASMLがNikonに特許料を払ってNikonを救済するのが本当の目的？